アライメントステージとは？

アライメントステージとは、XYθ軸の3方向に可動する位置決め機構のことです。XY軸は直線移動、θ軸は回転移動を行います。アライメントステージは、半導体・液晶関連製造装置など、画像処理を利用したアライメント処理やクリーンな環境を要求される測定器や検査装置などに広く用いられています。

SA200DEの特徴

日本トムソン社の【アライメントステージ】SA200DEは、以下のような特徴を持っています。

薄形・コンパクト：直動案内部にIKO CルーブリニアウェイL、回転案内部にIKOクロスローラベアリングを使用し、駆動部にダイレクト・ドライブ方式を採用しています。これにより、ボールねじ駆動のステージと比較して、極めて低い断面高さを実現しています。

高分解能・高精度：高分解能リニアスケールと、フルクローズドループ制御の組み合わせにより、バックラッシのない高精度な位置決め動作を実現しています。XY軸の位置決め精度は±1μm、θ軸の位置決め精度は±0.01°です。

XYθ軸の組み合わせ自由：直線位置決め用のXテーブル（SA200DE/X）と回転位置決め用のθテーブル（SA200DE/S）を標準設定としています。これらを組み合わせることで、XYθ軸の3方向に可動する極めてコンパクトなアライメントステージを簡単に構築することができます。

省電力・高タクト：θ軸（SA200DE/S）のモータ設計を見直し、トルクUPを実現しています。これにより、従来品と比較して、省電力化、タクトタイム短縮を実現しています。

以上が、日本トムソン社の【アライメントステージ】SA200DEについてのご紹介でした。SA200DEは、低断面でコンパクトながらも高分解能・高精度な位置決め動作を実現する優れた製品です。半導体・液晶関連製造装置や測定器・検査装置などにおけるアライメント処理に最適です。

もし、SA200DEに興味がありましたら、ぜひお問い合わせください。

日本トムソン社では、アライメントステージのほかにも、リニアモータテーブルやナノリニアなど、様々なメカトロシリーズの製品を取り揃えています。当社の製品は、高品質で信頼性の高いものばかりです。どんなニーズにもお応えできるよう、常に技術革新に努めています。